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碳化硅板去除杂质的详细步骤有哪些?

2022-09-07 11:57:00

        碳化硅板硬度仅次于金刚石,使用寿命是一般材料的5-10倍。它具有高硬度、高强度和良好的热导率。接下来,我们将介绍碳化硅板去除杂质的详细步骤。

        1.首先说腌制。酸洗通常是在加热的条件下用硫酸处理碳化硅。主要目的是去除碳化硅中的金属铁、氧化铁、镁、铝等杂质,可清洁快速地去除碳化硅板内的杂质。

        2.二是碱洗。碳化硅碱洗通常在加热条件下用NAOH处理。主要目的是去除碳化硅板表面的游离硅、二氧化硅等,可增加碳化硅含量,强化其碳化硅含量。

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